ナノテクノロジー検出サービスプラットフォームは、sem中の集積回路プロセスと先進材料のその場電気特性を特徴づけるために、mibotナノテクノロジーアームを強力なナノテクノロジープローブに変化させるユニークなソリューションである。ナノテクノロジーアームは、測定データ信号の乾きや引っ掻きをできるだけ避けるように工夫されており、リーク電流は100 fa/vまで低くすることができる。シールドケーブルは、各カメラを公演ステージから国家標準の引き出し線無線周波数コネクタに接続する。このサービスプラットフォームでは、ナノテクノロジーに達する画素を持つ4つのプローブを、複数のmmの作業中の室内空間に個別に配置することができます。*後に*が重要ではないのは、ステージのコンパクトな設計案が、これらの光学顕微鏡に小さな真空チャンバを持っている人にとっては通用するように、このようなソリューションを促進することである。



形象化されたその場低電流量電気測定。プローブ**を集積回路チップに接触させ、集積化部品の電気特性を測定し、欠点を保護する。Imina TechnologiesのNanoprobing SEMソリューションは、マイクロエレクトロニクスデバイスの電気的特性とその場の半導体材料の一般的な故障解析のための鍵渡し工学である。

*多種多様に装備されたmiBotを提示できることが多い™顧客の運用規定や機械設備に組み込むためのナノテクノロジーフィルタ装置。 miBot™優れた使い勝手と機能性を備えた圧電ドライブ小型知能ロボットで、カメラをmmレベルの試作品に正確に位置付けることができ、低画素から酸化ケイ素までを実現します。このナノテクノロジープローブの4つの可撓性により、作業者は試験期間中にプローブの傾向を非常に容易に調整することができる。

リングサービスプラットフォームはSEM試作品の正確な位置決め台に取り付けることができ、SEMに基づいてロックロードすることもできる。パッケージは、これらの小さなチャンバを含むSEMであっても、基本的にすべてのSEMを更新することができる電源アダプタセットを示しています。

低電力流量測定に力を入れて設計案を設計し、ナノテクノロジー構造の電気特性はシールドケーブルと第三者スイッチング電源表モジュール（SMU）とデータ信号検出器によって展開でき、優れた信号対雑音比を備える。

上等なinsituプリアンプとスキャナ超音波発生器はNanoprobingソリューションと適合し、定量分析EBICと低騒音EBAC/RCI分析を実行することができる。

公演ステージの設置と解体には10分以上かかり、光学顕微鏡のチャンバを長期的に変更する必要はありませんが、ロードロック適合バージョンは、測定された機械設備とカメラ**を取り替えるために*高い貨物量を提示し、チャンバの開放を防止する必要があります。

インテリジェントロボットサービスプラットフォームをベースとした直径の適切な複数のタイプのSEMショートカットは、前と同じように試作品を見ることができます。